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用调制法获得等效单色电子束的实验研究
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摘要
电子能量损失谱(ELS)在材料分析研究中有广泛应用。提出了用于 ELS 的新型单色电子枪原理,并介绍了基于这一原理而研制的单色电子枪。它具有束流大、可与筒镜电子能量分析器同轴安装、结构简单、磁屏蔽要求低等特点,为 ELS 与 AES 联合应用进行准确的原位分析提供了可能。研制的单色电子枪的实测结果为:束流约1×10^(-7)A,单色性ΔE<100meV。
作者
陈学康
范垂祯
杨得全
机构地区
兰州物理研究所
出处
《真空与低温》
1990年第4期2-7,共6页
Vacuum and Cryogenics
关键词
电子束
调制法
材料分析
分类号
TN101 [电子电信—物理电子学]
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真空与低温
1990年 第4期
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