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在硬质合金上化学气相沉积金刚石膜

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摘要 含碳化物的硬质合金材料,是一种有用的刀具和耐磨材料。用热灯丝化学气相沉积的方法,在其上沉积金刚石薄膜,可进一步提高其耐磨性、切削性和使用寿命。采用了不同的表面预处理方法和沉积参数,在硬质合金底材上沉积出了均匀的金刚石薄膜。初步检验证明其样品有很高的硬度和附着力。
机构地区 兰州物理研究所
出处 《真空与低温》 1990年第4期17-19,共3页 Vacuum and Cryogenics
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