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双室磁控规放电特性的实验研究
被引量:
1
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摘要
从实验中研究了双室磁控规的放电特性,得出了着火电压与磁场、气体压力的关系;放电电流与正交电磁场、气体压力的关系。实验结果表明,双室磁控规放电稳定,有利于降低正交电磁场以及延伸测量下限。
作者
孙大明
陈应山
机构地区
安徽大学物理系
出处
《真空与低温》
1990年第4期14-17,共4页
Vacuum and Cryogenics
关键词
真空规
磁控放电
分类号
TB772 [一般工业技术—真空技术]
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真空与低温
1990年 第4期
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