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红外探测器生产中的超高真空系统
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摘要
讨论了红外探测器生产中应用的超高真空系统的组成,分析了喷射泵、液氮冷却吸附泵、钛离子泵及钛升华泵的工作机理,并给出了一些数据.系统具有无油污染、噪音低、工作稳定等特点。真空度可达1×10^(-6)Pa。
作者
周冠山
出处
《真空与低温》
1990年第4期33-36,共4页
Vacuum and Cryogenics
关键词
红外探测器
超高真空
真空系统
分类号
TN215.03 [电子电信—物理电子学]
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真空与低温
1990年 第4期
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