红外探测器生产中的超高真空系统

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摘要讨论了红外探测器生产中应用的超高真空系统的组成,分析了喷射泵、液氮冷却吸附泵、钛离子泵及钛升华泵的工作机理,并给出了一些数据.系统具有无油污染、噪音低、工作稳定等特点。真空度可达1×10^(-6)Pa。

作者周冠山

出处《真空与低温》 1990年第4期33-36,共4页 Vacuum and Cryogenics

关键词红外探测器超高真空真空系统

分类号 TN215.03 [电子电信—物理电子学]

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1990年第4期

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