第十七讲薄膜与表面技术基础

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摘要（上接2011年第6期第83页） 6界面与薄膜附着 6.1界面层在镀膜工艺中人们经常关心的问题是：能不能在某种材料上沉积所需要的薄膜,沉积薄膜的耐用性如何。如金刚石膜可以在Si硅片上沉积,但为什么不能直接在非常有用的红外材料Ge和ZnS基体上沉积，

作者张以忱

机构地区东北大学

出处《真空》 CAS 2012年第1期87-88,共2页 Vacuum

关键词沉积薄膜表面技术基础红外材料镀膜工艺金刚石膜界面层耐用性

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真空

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