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东电电子一举投放5款三维TSV装置
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摘要
东电电子(TEL)一举投产了5款用于三维封装的TSV(硅通孔,throughsiliconvia)制造装置,并在12月7-9日召开的“SEMICON Japan 2011”上展示。
出处
《中国集成电路》
2012年第1期5-5,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
三维封装
制造装置
TSV
电子
SEMICON
投放
JAPAN
通孔
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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中国集成电路
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