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东电电子一举投放5款三维TSV装置

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摘要 东电电子(TEL)一举投产了5款用于三维封装的TSV(硅通孔,throughsiliconvia)制造装置,并在12月7-9日召开的“SEMICON Japan 2011”上展示。
出处 《中国集成电路》 2012年第1期5-5,共1页 China lntegrated Circuit
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