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Edwards发布两款工业应用高性能GXS干式螺杆真空泵
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摘要
真空设备、尾气处理设备和相应服务的供应商Edwards公司扩展其GXS系列干泵,以期满足大批量工业OEM厂商和终端用户的需求。新的GXS450和GXS750泵及泵组采用创新的螺杆技术和高效率驱动技术,以提供高泵的抽真空性能,可让用户优化其制程,实现较低的总体拥有成本,并减少占地面积。
出处
《电子世界》
2012年第5期4-4,共1页
Electronics World
关键词
工业应用
真空性能
真空泵
螺杆
干式
尾气处理设备
总体拥有成本
终端用户
分类号
TN104.1 [电子电信—物理电子学]
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1
Edwards发布两款工业应用高性能GXS干式螺杆真空泵[J]
.中国集成电路,2012(3):7-7.
2
Edwards新型iXH500H干泵系列显著降低拥有成本[J]
.电子世界,2012(1):5-5.
3
Edwards在SEMICON China2012展会上展示先进真空技术[J]
.半导体技术,2012,37(4):327-327.
4
EDWARDS宣布达到尾气处理系统安装里程碑[J]
.塑料制造,2012(10):54-54.
5
BOC EDWARDS推出用于半导体工艺尾气处理的解决方案HELLOS 6^TM[J]
.半导体技术,2007,32(7):639-639.
6
EDW ARDS发布用于LED和化合物半导体制造的新型真空泵[J]
.塑料制造,2012(9):60-60.
7
顾树仪.
真空开关管的一次封排技术及真空性能分析[J]
.真空电子技术,1992,5(5):56-59.
8
李朝明.
金属材料真空性能的鉴别[J]
.电子工艺简讯,1992(3):2-5.
9
Edwards在SEMICONChina2012展会上展示先进真空技术[J]
.电子世界,2012(7):7-7.
10
EDWARDS将在2014SEMICON^R CHINA展会上展示世界领先的真空设备和尾气处理系统[J]
.半导体技术,2014,39(4):315-315.
电子世界
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