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Stability Analysis of Contact Scanning Probe for Micro/Nano Coordinate Measuring Machine 被引量：2

Stability Analysis of Contact Scanning Probe for Micro/Nano Coordinate Measuring Machine
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作者 李瑞君 范光照 钱剑钊 黄强先 龚伟 苗晋伟
机构地区 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽电气工程职业技术学院自动化与信息工程系 台湾大学机械工程学系
出处 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第2期125-131,共7页 Nanotechnology and Precision Engineering
基金 国家高技术研究发展计划（863计划）资助项目（2008AA042409） 国家自然科学基金资助项目（50875073） 安徽省教育厅高等学校优秀青年人才基金资助项目（2011SQRL179）.
关键词 微纳米三坐标测量机 扫描探头 稳定性分析 传感哭喊中 stability temperature drift two-dimensional （2D） angle sensor Michelson interferometer micro/nano coordinate measuring machine（CMM）
分类号 TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 相关文献

参考文献1

二级参考文献18

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引证文献2

二级引证文献6

纳米技术与精密工程
2012年 第2期

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