VG-1高灵敏真空控制仪的研制

Development of VG-1 High Sensitivity Vacuum Controller

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摘要本文介绍了应用扩散硅压力传感器研制的 VG- In this paper, the development of high sensitivity vacuum controller, VG 1 of pressure sensor using spreading silicon is described.

作者吴春阳康宁孙旭

机构地区东北微电子技术研究所沈阳真空技术研究所

出处《真空》 CAS 北大核心 2000年第1期44-46,共3页 Vacuum

关键词扩散硅压力传感器绝对真空计真空测量 spreading silicon pressure sensor vacuum gauge

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TB772 [一般工业技术—真空技术]

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1何立民.单片机应用系统设计[M].北京：北京航空航天大学出版社,1990..

共引文献236

1周振安.地震前兆数据采集器的设计考虑[J].大地测量与地球动力学,2004,24(3):120-123. 被引量：8
2王海明,王霞,张晓钟.水泵站实时监控系统中过程控制层的实现[J].机械,2004,31(7):24-26. 被引量：2
3周强,王曙光.几种光电检测电路的性能比较[J].现代电子技术,2004,27(16):87-89. 被引量：5
4周强,王孟效.单片机软件喂狗方式和硬件喂狗方式的比较[J].陕西科技大学学报（自然科学版）,2004,22(4):90-92. 被引量：4
5杜刚,高军,童宁宁.基于AT89C2051单片机的频率计设计[J].微计算机应用,2004,25(4):498-502. 被引量：5
6李国平,艾长胜,王新华,孙选,王娜.带传动计算机测试系统研制[J].济南大学学报（自然科学版）,2004,18(4):355-356.
7郎人和,刘景彦,郭英占,白海萍.AH-1型全自动吸枪式氦检漏仪的研制[J].真空,2004,41(4):132-134. 被引量：1
8王海明,王霞.冷锯锯片夹持机构微机控制系统[J].机电工程技术,2004,33(9):85-87.
9王成义,李国富.新型狱墙电网自动监控系统的研究[J].山东科技大学学报（自然科学版）,2004,23(3):33-34.
10王豫川.人防车载警报器的软硬件设计[J].河南科学,2004,22(6):856-858. 被引量：2

1唐凤姣.基于CAN总线的真空智能仪表的设计[J].仪表技术,2013(2):12-15. 被引量：2
2朱武,王先路,周永安,李云奇.真空测量与控制中微机应用的若干典型技术[J].真空,1995,32(2):35-39. 被引量：1
3吴根发,梁智岷,张文丽,宋红.真空设备检修三要素[J].四川真空,2003(1):13-17.
4徐生贵.热偶真空控制仪[J].仪器与未来,1989(11):11-12.
5董传刚,孙同景.真空测量中热偶规传感器的非线性特性校正[J].微计算机信息,2007,23(10):214-215.
6马永胜,董海义,郭迪舟,黄涛,刘佰奇,彭晓华.ADS注入器Ⅰ真空测量与控制系统研制[J].真空,2014,51(5):18-21. 被引量：1
7李杨,乔双.用函数拟合方法实现热偶规的非线性标定[J].东北师大学报（自然科学版）,2010,42(4):62-65. 被引量：1
8德国伊尔姆真空控制器VCB424[J].实验与分析,2006(3):46-46.
9张浩林.自动真空测控系统分析探讨[J].科技创新与应用,2012,2(18):99-99.
10非电量测量与设备[J].电子科技文摘,2002,0(2):88-88.

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