Ti:LiNbO_3外扩散抑制的简单检测方法

Inspecting suppression of out-diffussion in Ti:LiNbO_3 crystals

一、引言 钛扩散铌酸锂光波导在目前的集成光学无源器件中占主导地位,人们已对它作了许多研究,并用它做成了器件,有的已实用化。但是,严重影响钛扩散铌酸锂光波导质量的外扩散的研究及其抑制方法还未成熟。早期用铌酸锂粉或碳酸锂粉来抑制外扩散,后来水气抑制外扩散法为大多数研究者使用。近年来认为水气不能在长时间内抑制外扩散。

Experiments have been conducted for suppression of out-diffussion in LiNbO3 of x-cut,y-cut and z-cut directions and a simple mothod of inspecting out-diffussion is reported.