脉冲供电的空心阴极放电中电子的能量和密度

Energy and density of electrons in a hollow cathode discharge supplied with pulsed current

空心阴极放电具有电子能量大和密度高等优点,特别是脉冲供电的空心阴极放电,它能给出比直流供电的空心阴极放电中高好几个数量级的电子密度,而且高能电子的比例也很高。这对于激发原子的高激发态,尤其是获得双电子激发态是相当适合的。然而,目前对于脉冲供电的空心阴极放电,尤其是对极短波长受激辐射最重要的电子的能量和密度以及随放电参数变化的关系等问题,有待深入研究。 在一个脉冲供电的空心阴极放电装置上,用圆柱型双探针系统测量了氩气电子的能量和密度以及随放电参数变化的关系。并与直流放电的结果作了比较。发现在脉冲放电的条件下电子的密度比在直流放电的条件下约高4个数量级,而电子的能量提高约4～13eV。

The energy and density of electrons in argon hollow cathodo discharge (HCD) supplied with pulsed current are measured by a cylindrical double probe system. The measured energy and density of electron are 7.1-17.5eV and 1.2×l013-4.1×l013cm respectively, when the de preionization current is 80mA, the pressure range is 0.3-0.6 Torr and the pulse voltage range varies from 1.4 to 2.2 kV.