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超大规模集成电路生产环境化学污染及控制 被引量:2

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摘要 超大规模集成电路生产对于生产环境中化学污染控制指标的要求日趋严格。本文介绍几项在净化空调系统设计中采用的污染控制技术措施。
作者 王唯国
出处 《洁净与空调技术》 2000年第1期20-23,共4页 Contamination Control & Air-Conditioning Technology
  • 相关文献

参考文献3

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引证文献2

二级引证文献6

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