微环境/SMIF——IC制造的战略

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摘要 1 前言为实现当前以及下世纪半导体制造新的收益率目标,就必须进一步提高半导体制造的环境和自动化水平。本文章就是针对当前和下世纪新的高价值、大容量IC生产对微环境/SMIF的战略进行论述。

作者张利群

机构地区中国电子工程设计院

出处《洁净与空调技术》 2000年第1期31-33,共3页 Contamination Control & Air-Conditioning Technology

关键词微环境半导体 IC 制造洁净室

参考文献1

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洁净与空调技术

2000年第1期

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