Edwards在SEMICONChina2012展会上展示先进真空技术

真空设备和服务供应商Edwards公司参加于3月20日至22日在上海新国际博览中心举办的中国国际半导体技术大会（SEMICONChina2012）。其真空技术有助于减少污染、能耗和运营成本，涉及行业广泛，包括半导体、LED、太阳能，以及平板显示器（flat—paneldisplay，FPD）领域。