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俄罗斯科学家开发出氧化铝生产新方法
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摘要
莫斯科国立电子技术学院一科研小组开发出了一种生产纳米多孔氧化铝方法。采用这种氧化铝,可以创建包括光子晶体在内的系列用于半导体器件的现代材料。目前,微电子半导体器件主要通过光刻技术来创建。
出处
《现代材料动态》
2012年第4期19-20,共2页
Information of Advanced Materials
关键词
氧化铝生产
俄罗斯科学家
开发
纳米多孔氧化铝
半导体器件
电子技术
现代材料
光子晶体
分类号
TN303 [电子电信—物理电子学]
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