高频热等离子体制备纳米粉体材料研究进展

等离子体（Plasma）是由电子、阳离子和中性粒子构成的整体呈电中性的物质集合，是除去固、液、气外物质存在的第四态。气体放电、激光压缩、射线辐照及热电离等方法都可产生等离子体，最常用的是气体放电法。高频（High Frequency，HF）热等离子体除具有能量密度大、温度高和冷却速率快等特点外，由于产生等离子体的感应线圈位于等离子体炬外，不会带来电极污染，而且等离子体反应体系气氛可控，因此在制备和处理高纯度粉体材料方面具有明显的优势和潜力。