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Edwards在SEMICON China 2012展会上展示先进真空技术

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摘要 总部位于英国的Edwards为历史悠久的全球品牌,其真空技术有助于减少污染、能耗和运营成本,涉及行业广泛,包括半导体、LED、太阳能,以及平板显示器等领域。在此次SEMICONChina2012展出的真空泵产品包括STP.iXR1606和STP—iXA3306磁悬浮泵两个新型号。
作者 杨霞
出处 《现代制造》 2012年第14期22-22,共1页 Maschinen Markt
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