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中微第二代等离子体刻蚀设备首次在中国试运安装;用于32~28nm芯片加工
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摘要
中微半导体设备有限公司(以下简称"中微")于SEMICON China展会期间宣布,中微第二代等离子体刻蚀设备Primo AD-RIETM正式装配国内技术最先进的集成电路芯片代工企业中芯国际,用于32~28 nm及更先进的芯片加工。
出处
《电子工业专用设备》
2012年第4期63-64,共2页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
刻蚀设备
等离子体
芯片加工
第二代
SEMICON
安装
试运
中国
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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2
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3
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4
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7
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10
华微电子简介[J]
.高科技与产业化,2009,15(8).
电子工业专用设备
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