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复合靶磁控溅射离子镀膜技术
被引量：
2
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摘要
从理论上、实践上比较了多种镀膜技术 ,确认了在铁氧体移相器单元表面镀膜最好且实用的技术是复合靶、磁控溅射离子镀技术 ,并进一步阐述。
作者
毛德才
张秀娥
机构地区
北京无线电测量研究所
出处
《航天工艺》
2000年第1期5-8,共4页
关键词
复合靶
磁控溅射
离子镀
雷达
铁氧体移相器单元
分类号
V261 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
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