摘要
探讨三氯氢硅合成尾气回收方法,降低三氯氢硅生产成本,利于环境保护。
Explore the trichlorosilane synthesis off gas recovery method,in order to reduce the trichlorosilane production cost and conducive to environmental protection.
出处
《化工设计》
CAS
2012年第2期32-35,1,共4页
Chemical Engineering Design
关键词
多晶硅
三氯氢硅
尾气回收
polysilicon trichlorosilane off gas recovery
