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溅射靶材制备技术及产品

Manufacture Technology of Sputtering Target And Products

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摘要事业部以航天用粉末冶金材料的研制生产技术为依托，利用军用产品的研究成果和技术优势，开展高纯高性能溅射靶材的研发和生产工作。

出处《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期F0004-F0004,共1页 Aerospace Materials & Technology

关键词制备技术溅射靶材军用产品粉末冶金材料生产技术研究成果生产工作航天用

分类号 F426.48 [经济管理—产业经济]

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宇航材料工艺

2012年第2期

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