5层工艺技术可以制造更可靠、更复杂的MEMS 被引量：1

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摘要 5层多晶硅表面微加工工艺可以制成更为可靠,能够完成更为复杂作业的微机电系统(MEMS)。此项首先在美国能源部所属Sandia国家实验室(位于美国新墨西哥州的Albuquerque)实现的工艺技术,可望成为工业界的标准工艺技术;

作者 Alix L.Paultre 王正华

出处《今日电子》 2000年第5期6-7,共2页 Electronic Products

关键词 5层工艺技术微机电系统表面微加工

同被引文献8

1Hah D,Huang S T Yu,Tsai J C,Toshiyoshi H,Wu M C.Low-voltage,large-scan angle MEMS analog micromirror arrays with hidden vertical comb-drive actuators[J].Journal of Microelectromechanical Systems,2004,13,(2):279-289.
2Comtois J H,Bright V M.Applications for surface-micromachined polysilicon thermal actuators and arrays[J].Sensors and Actuators A,1997,58:21-25.
3Krygowski T W,Rodgers M S,Sniegowski J J,Miller S M,Jakubczak J.A low-voltage rotary actuator fabricated using a five-level polysilicon surface-micromachining technology[A].IEDM,1999.
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7Sniegowski J J,Rodgers M S.Multi-layer enhancement to polysilicon surface-micromachining technology[A].IEDM 1997:903-906.
8王阳元,武国英,郝一龙,张大成,肖志雄,李婷,张国炳,张锦文.硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究[J].电子学报,2002,30(11):1577-1584. 被引量：39

今日电子

2000年第5期

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