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Y60A单晶炉的电气控制系统
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摘要
介绍了Y6 0A型单晶炉电气控制系统设计思路及工作原理 ,试验数据表明其提拉速度精度、控温精度、控温均匀度等技术指标的先进性。
作者
梁秀梅
张冰毅
董淑梅
机构地区
西安理工大学晶体生长设备研究所
出处
《电子工业专用设备》
2000年第1期39-41,共3页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
单晶炉
控温精度
提拉速度精度
电气控制系统
分类号
TF806.9 [冶金工程—有色金属冶金]
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