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Y60A单晶炉的电气控制系统被引量：2

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摘要介绍了Y6 0A型单晶炉电气控制系统设计思路及工作原理 ,试验数据表明其提拉速度精度、控温精度、控温均匀度等技术指标的先进性。

作者梁秀梅张冰毅董淑梅

机构地区西安理工大学晶体生长设备研究所

出处《电子工业专用设备》 2000年第1期39-41,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词单晶炉控温精度提拉速度精度电气控制系统

分类号 TF806.9 [冶金工程—有色金属冶金]

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电子工业专用设备

2000年第1期

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