摘要
详细论述了铁电存储器 (FRAM)的工作原理、发展过程、技术特性、理论和技术及实际生产中的限制 ,分析了 FRAM的优势及弱点 ,认为 1G位的 FRAM可望在五年内实现。
FRAMs operation principle,development course,technique characteristic,limitations of theory, technology and practical manufacture process are discussed,and FRAMs advantages and disadvantages are analyzed also.It is considered that 1Gbit FRAM will be realized in five years.
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第3期1-4,共4页
Semiconductor Technology