“光荧光”光谱测试系统设计

光荧光(Photoluminescence,PL)是材料吸收光子后的一种自发放射。由于光荧光光谱对于检测半导体材料的光特性是一个有力而又无破坏的技术,根据放射特征光谱分析可获取材料的摻杂杂质种类、能隙大小、化合物中的组成成分、载流子寿命等重要讯息。文中从硬件和软件两个方面进行阐述,着重于光荧光光谱测试系统设计,完成测量光谱范围达到200-2000nm,测试精度达到1nA(1μV),克服了传统测试系统灵敏度不高、测试光谱范围有限的缺点。