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亚智科技推出全新Manz Slit Coater助力大尺寸面板制造

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摘要 ●精密气悬浮式光阻涂布设备,符合大尺寸面板制造的产能需求趋势●以气悬浮平台控制技术进行涂布和玻璃基板传送。
出处 《现代显示》 2012年第3期63-63,共1页 Advanced Display
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