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Edwards:展示先进真空技术和尾气处理系统

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摘要 STP-i XR1606STP-i XA3306作为全球领先的真空设备和服务供应商Edwards公司在今年的SEMICONChina上再次展示了其先进的真空技术和尾气处理系统。

作者黄友庚

出处《中国集成电路》 2012年第4期83-84,共2页 China lntegrated Circuit

关键词尾气处理系统真空技术服务供应商真空设备

分类号 F416.6 [经济管理—产业经济]

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中国集成电路

2012年第4期

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