摘要
介绍了一种以MEMS技术制作的可定量获取三维接触力信息的 4× 8阵列触觉传感器的结构与工艺 ,提出一种新颖的三维接触力信息的获取与处理方法 ,并给出了实现接触、分布压、接触总力、滑动状态等多种功能的实验结果和主要的技术指标。
A robot tactile sensor for detecting 3D contact force is developed by MEMS technology. Design analysis, fabrication procures, data proccesing system and a novel decoupling method, expremental results and specification of the tactile sensor are presented.
出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
2000年第3期53-56,共4页
Chinese High Technology Letters
基金
863计划资助项目!( 863 2 5 4 1)
