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高速激光点阵光刻机的设计 被引量:2

Design of high speed laser dot matrix lithography machine
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摘要 为了制作大尺寸激光防伪商标,开发了高速激光点阵光刻机。该光刻机以工控机为上位机,ARM LPC2138和单片机STC12C5401AD为下位机,采用直线电机直接驱动X-Y工作台,实现了高速高精度定位。 In order to produce large size laser anti-counterfeiting trade marks, and developed a high speed laser dot matrix lithography. The lithography machines used industrial personal computer (IPC) as upper-comPuter and ARM LPC2138 MCU STC12C5401AD as lower computer was constructed,X-Y working table with linear motor direct drive to achieve high speed and high precision positioning.
作者 殷庆纵 刘吉
出处 《电子技术应用》 北大核心 2012年第5期26-29,共4页 Application of Electronic Technique
关键词 激光直写 直线电动机 光刻 光栅 ARM LPC2138 单片机 laser direct writing linear motor lithography grating ARM LPC2138 MCU
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