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利用PSD的柔性臂末端振动测量系统
被引量：
4
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摘要
本文讲述了用PSD构造柔性臂末端振动测量系统的设计与实现过程 ,包括测量原理 ,光学系统的构造 ,PSD的后续处理电路 ,系统标定等。
作者
刘兴占
张令波
孙富春
机构地区
清华大学
出处
《计量技术》
北大核心
2000年第3期10-13,共4页
Measurement Technique
关键词
PSD
柔性臂
测量系统
末端振动
机械手
分类号
TH825 [机械工程—精密仪器及机械]
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