薄膜太阳电池系列讲座(11) 硅基薄膜太阳电池(三)
摘要
4非晶硅中氢（H）的作用（1）钝化悬挂键实际上早期采用蒸发方法制备的非晶硅材料并不含有氢（H）,所以写成a-Si。缺陷态密度很高,很难制备出性能优良的器件。自从1969年Chitick等人发明了用辉光放电法（GD）制备氢化非晶硅（a-Si：H）[15],以非晶硅作有源层的器件才成为可能。
出处
《太阳能》
2012年第7期8-10,37,共4页
Solar Energy
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