半导体所国内首台48片MOCVD样机研发工作取得重大进展

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摘要在中国科学院和广东省共同支持下,由中科院半导体研究所负责研制开发的国内首台48片MOCVD样机取得重大进展。样机不仅经过了真空、压力、温度、旋转、自动传输等一系列设备性能指标实验考核,还进行了氮化镓以及氮化物LED的外延工艺考核。所外延的氮化物材料分别由山东华光、杭州士兰明芯、武汉迪源、

机构地区中国科学院半导体研究所

出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期424-424,共1页 Journal of Synthetic Crystals

关键词 MOCVD 半导体研发工作样机国内实验考核中国科学院性能指标

1南车株洲所研制出国内最长“捕风”叶片发电量增5%[J].玻璃钢／复合材料,2014(7):101-102.
2叶欣,姚鹏军,奚梅梅,张立群.华光炭黑填充丁苯橡胶纳米复合材料的结构与性能[J].橡胶工业,2013,60(10):581-587. 被引量：1
3吴石山,张军窦强,程丝,范锦辉,李小佳.导电硅橡胶的研究[J].橡胶工业,1998,45(11):669-671. 被引量：20
4王艳艳,姜银珠,高建峰,刘铭飞,孟广耀.MOCVD前驱物Fe(DPM)_3的制备与性能表征[J].无机化学学报,2006,22(7):1269-1274. 被引量：1
5吴友平,张立群,谢俊,刘力,冯予星,田明.改性华光导电炭黑及其填充橡胶的性能[J].特种橡胶制品,1998,19(6):1-4. 被引量：2
6苏正涛,刘君,孔毅,张峥,尹艳玲.低苯基硅橡胶的耐热性能研究[J].材料工程,1999,27(4):7-8. 被引量：12
7宁英沛,赵金义,卢祥来,刘文成,孟祥雨,刘建平.华光特导电炭黑在硅橡胶中的应用研究[J].橡胶工业,1995,42(11):663-666. 被引量：6
8李一,聂俊辉,李楠,柳学全,贾成厂.镍覆膜碳纤维的制备与性能研究[J].功能材料,2012,43(13):1688-1691. 被引量：4
9吴友平,张立群,伍社毛,刘力,田明,冯予星,谢俊.华光导电炭黑填充硅橡胶的研究[J].特种橡胶制品,1998,19(5):4-6. 被引量：3
10颜祥平,梁传英,刘永礼,张文栓.新型水溶性酚醛树脂在鱼竿上的应用[J].工程塑料应用,1996,24(6):41-43. 被引量：1

人工晶体学报

2012年第2期

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