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基于红外测温法的MOCVD工艺温度分析 被引量:2

Analysis of MOCVD Process Temperature Based on Infrared Measurement
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摘要 为了得到MOCVD工艺生长过程中石墨盘的温度分布,提出了基于红外测温法的非接触无损测量方法,使用自主研发的双波长红外测量仪,能够得到石墨盘的径向和圆周温度分布情况,对MOCVD的加热炉结构改进和工艺过程控制有很大的指导意义。
出处 《计量与测试技术》 2012年第4期18-19,21,共3页 Metrology & Measurement Technique
基金 广东省重大科技专项(2010A080802006)
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参考文献5

二级参考文献29

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共引文献48

同被引文献16

引证文献2

二级引证文献13

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