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Soitec提出针对先进平面和三维晶体管的全耗尽产品发展蓝图

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摘要 2012年4月25日,Soitec(Euronext),领先全球的电子和能源行业半导体材料生产商Soitec,发布了其专为开发平面和三维晶体管(FinFET)而设计的全耗尽(FD)产品发展蓝图。已经出货的SoitecFD晶圆在晶圆结构内预集成了晶体管的关键特性,
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期493-493,共1页 Semiconductor Technology
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