高纯铝表面电抛光形成自组织图案的研究进展
摘要
近年来具有高度有序的自组织结构的多孔阳极氧化铝（AAO）膜得到广泛的应用，尤其是作为制备纳米材料的模板．传统的光刻技术主要包括紫外光刻或x射线光刻、电子束光刻和离子束光刻．
出处
《腐蚀科学与防护技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期245-248,共4页
Corrosion Science and Protection Technology
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