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Annealing Effects on the Optical and Structural Properties of DLC Films

Annealing Effects on the Optical and Structural Properties of DLC Films
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出处 《材料科学与工程(中英文B版)》 2012年第4期295-299,共5页 Journal of Materials Science and Engineering B
关键词 DLC薄膜 等离子体增强化学气相沉积 退火 结构特性 光学 玻璃基板 PECVD FT-IR Diamond-like carbon, PECVD, thermal annealing.
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