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三氯氢硅合成变压吸附尾气回收系统的技改

Technical Innovation of the Exhaust Gas Recovery System of Pressure Swing Adsorption in Trichlorosilane Synthesis Process
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摘要 介绍了河北邢矿硅业科技有限公司2万t/a变压吸附法三氯氢硅生产中尾气回收装置遇到的异常情况、产生原因及采取的技改措施。 To introduce the abnormal situations encountered in tail gas recovery device in Hebei Xingkuang Silicon Technology Co.,Ltd 20 kt/a trichlorosilane production by pressure swing adsorption,causes and the improvement measures.
作者 常志东
出处 《河北化工》 2012年第5期46-48,56,共4页 Hebei Chemical Industry
关键词 三氯氢硅 变压吸附 尾气回收 漏液 漏水 装置保护 trichlorosilane pressure swing adsorption tail gas recovery liquid leakage leaking protective device
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