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KLA-Tencor推出新的CIRCL集成系统

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摘要 KLA—Tencor公司宣布为前沿芯片制造商推出一套新的高产能缺陷检测／复查／量测系统——CIRCL集成系统。

出处《中国集成电路》 2012年第5期12-13,共2页 China lntegrated Circuit

关键词集成系统芯片制造商量测系统缺陷检测 KLA

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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中国集成电路

2012年第5期

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