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半导体材料将走向“纳米化”

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摘要 到2015年,我国将拥有多条45—90纳米的8英寸、12英寸生产线。2022年进入国际前列。不过随着集成度提高,硅晶片会遇到很多困难.例如芯片功耗急剧增加,极有可能将硅片融掉。以砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等为代表的第二代半导体材料不断向硅提出挑战。
作者 王占国
机构地区 中国科学院
出处 《科学中国人》 2012年第8期57-57,共1页 Scientific Chinese
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