期刊文献+

关于溅射离子泵电源性能指标的几点建议 被引量:2

Some Proposals for Performance and Specification of SIP Power Supply
下载PDF
导出
摘要 对中国科技大学国家同步实验室蒋迪奎等三位作者提出的关于国产 SIP电源的性能指标提供几点补充和建议 :电源功率 ,起动电压和分挡 ,短路电流和起动特性 ,以及噪声等 。 Some proposals for performance and specification of SIP are given, for example input power, start voltage, shout current and start performance and noise. And discussed.
出处 《真空》 CAS 北大核心 2000年第2期42-44,共3页 Vacuum
关键词 溅射离子泵 起动特性 电源 sputtering ion pump start performance
  • 相关文献

同被引文献3

引证文献2

二级引证文献1

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部