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超净介质中颗粒状杂质的光散射测试技术的理论研究 被引量:2

Theory Study of Light Scattering Measurement Technology on Particulate Contamination under Ultraclean Environment
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摘要 对超净介质中的颗粒计数理论进行了详细的分析 ,建立了同轴采光和异轴采光结构的数学模型 ,得出光通量和粒径之间的对应关系 ,并通过数值计算 ,对可能影响计数效率的几个因素进行了分析讨论。 The paper particularly analyzed the theory of optical particle counter under ultraclean environment , built the mathematics model of on axis and off axis lighting structure, educed the corresponding relationship between luminous flux and particulate diameter, and discussed several factors which may affect signal measurement through mathematics calculation.
出处 《桂林电子工业学院学报》 2000年第1期6-12,共7页 Journal of Guilin Institute of Electronic Technology
基金 上海市曙光计划 国家自然科学资金
关键词 光散射 光通量 颗粒测量 颗粒粒径 Light Scattering, Luminous Flux, Particulate Measurement
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