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金属化工艺对开关晶体管工作可靠性的影响
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摘要
文本文对在工作过程中损坏的开关晶体管的解剖结果进行了分析 ,发现管芯正背面金属膜质量是引起开关晶体管失效的重要原因之一 。
作者
许志峰
机构地区
扬州晶来电子有限公司技术部
出处
《微电子技术》
2000年第1期51-54,共4页
Microelectronic Technology
关键词
开关晶体管
可靠性
金属化工艺
分类号
TN323.6 [电子电信—物理电子学]
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微电子技术
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