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21世纪的硅基材料——SOI

Material of Silicon Integrated for The Twenty First Century
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摘要 介绍了SOI材料的发展及主要制备技术 ,对其应用前景也作了详尽论述。 Describe the development and the major manufacturing technology of silicon on insulator.The application status is also presented.
作者 崔朝宏
机构地区 天津大学
出处 《电子工艺技术》 2000年第2期57-59,共3页 Electronics Process Technology
关键词 硅基材料 制备技术 SOI SOI Manufacturing technolog Application status
分类号 TN304 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献

参考文献6

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共引文献5

电子工艺技术
2000年 第2期

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