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氯化氢系列标准
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摘要
1)GB/T14602--1993(电子工业用气体氯化氢》。规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。氯化氢主要用于电子工业,在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究等领域。
出处
《化工生产与技术》
CAS
2012年第2期64-64,共1页
Chemical Production and Technology
关键词
氯化氢
标准
集成电路生产
原料合成
电子工业
检验方法
检验规则
安全要求
分类号
TQ124.42 [化学工程—无机化工]
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