摘要
分析了 Si C材料的结构类型和基本特性 ,介绍了 Si C单晶材料的生长技术及器件工艺技术 ,简要讨论了 Si C器件的主要应用领域和优势。
The structure types and properies of SiC are analyzed.The processes for SiC crystal growth and device fabrication are presented.Main application fields are discussed.
出处
《半导体情报》
2000年第2期13-15,29,共4页
Semiconductor Information
关键词
半导体材料
半导体器件
碳化硅
SiC crystal materials Process High temperature semiconductor devices Short wavelength light emitting devices
