摘要
本文通过对其工作过程的具体描述,指出微型机械技术的出现将引起一场划时代的革命。另外,文中还介绍了微型阀和微型泵的结构、原理与应用。
The structure and operational principle for microvalve and micropump and its application are introduced in this paper..
出处
《传感器世界》
2000年第4期1-8,共8页
Sensor World
关键词
微型阀
微型泵
微型机械
Microvalve,Micropump,Micro flow system,Micromechanics.
