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硅微加速度计的接口检测电路的研究 被引量：4

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摘要 研究了微加速度计的电容变化率为 10 - 7～ 10 - 8时的微弱输出信号的检测技术 ,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上 ,进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术 ,以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术。这些全新的技术思路和措施可望达到检测 10 - 7～ 10 -
作者 李万玉 阮爱武 罗晋生 冯培德
机构地区 航空工业总公司第 西北工业大学自动控制系 西安交通大学电子与信息学院
出处 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期170-172,共3页 Chinese Journal of Scientific Instrument
关键词 硅微加速度计 寄生电容 积分电路 电荷注入
分类号 TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
  • 相关文献

参考文献9

二级参考文献30

共引文献84

同被引文献17

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引证文献4

二级引证文献33

仪器仪表学报
2000年 第2期

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