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阳极氧化的Ta_2O_5薄膜内击穿过程中微孔的形成
被引量:
2
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摘要
通过重复阳极氧化实验,研究了钽的阳极氧化过程中的击穿损伤。本文介绍一种解释,假设由于击穿过程产生非短路微孔的形成。根据此模型计算损伤面积的大小和微孔的深度。
作者
彭文屹
袁晓月
陆德平
曾卫军
机构地区
江西省科学院
出处
《国外金属热处理》
2000年第1期45-48,共4页
Heat Treatment of Metals Abroad
关键词
重复阳极氧化
击穿过程
微孔
电子管
五氧化二钽
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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