聚苯乙烯基体上低介电常数介孔二氧化硅膜的制备

以氨水为催化剂,采用溶胶-凝胶法在聚苯乙烯基体上制备了介孔二氧化硅薄膜。用红外光谱、小角XRD、扫描电子显微电镜(SEM)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对样品进行了表征,并对其机理进行了探讨。结果表明,制得的二氧化硅薄膜连续、无缺陷,且孔道呈蠕虫状。