超净气体输送管道系统的洁净管理

一．引言 超净的气体输送管道系统，是指具有超净化要求的输送高纯气体、掺杂气体的管道系统，广泛应用于集成电路器件生产、太阳能光伏电池生产、PDF显示器面板生产等微电子领域，该系统输送的气体主要有高纯大宗气体（高纯氧、高纯氩、高纯氦、高纯氢等气体）、特气（硅烷、磷烷、砷烷、氯化氢、氯气等工艺气体），以上气体在下文中简称“超净气体”。